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“裔陛能MEMS到底是什么？”。首先，回顾ADIMEMS是如何定义一些主要规格的。然后，简单看一下基于加速度计的倾斜检测及相关主要规格，接着通过余下的讨论介绍自主机器人示例。接下来将更具体地说明陀螺仪规格，同时细致分析各种误差源、表征技巧以及各种情况的考虑因素。接着将讨论惯性测量单元（IMU），也就是各种传感器的组合，包括但不必限于加速度计和陀螺仪。然后是IMU的其他相关考虑点，最后将简短总结一些优质产品的性能。