【摘 要】
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稳定性和粘附在微型机械的制造和运动过程中是很重要的问题.由于微型机械运动构件之间的间隙通常处于微米、纳米量级,因此需考虑量子力学的影响,如Casimir力.首先对两平行的
【机 构】
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江苏大学微纳米科学技术研究中心,清华大学
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稳定性和粘附在微型机械的制造和运动过程中是很重要的问题.由于微型机械运动构件之间的间隙通常处于微米、纳米量级,因此需考虑量子力学的影响,如Casimir力.首先对两平行的多晶硅平板之间的Casimir力进行了分析,并考虑表面粗糙度、导电常数和温度的影响,然后讨论了Casimir力对微腔的薄膜结构的作用.当只考虑Casimir力作用时,该结构存在稳定的平衡态和不稳定的非平衡态,由量纲一数K值决定.如果K值大于极值Kl,该结构就会塌陷.极值Kl随薄膜与固定面之间的距离变化而变化.这为评价该系统在给定尺寸参数、
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