【摘 要】
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为制备出高温高压状态方程(EOS)研究中所需的高质量钽膜,采用硫酸-甲醇体系电解液对钽片进行电解抛光实验,测定了钽的阳极极化曲线,表征了钽样品抛光前后的表面形貌,分别研究
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川大学原子与分子物理研究所
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为制备出高温高压状态方程(EOS)研究中所需的高质量钽膜,采用硫酸-甲醇体系电解液对钽片进行电解抛光实验,测定了钽的阳极极化曲线,表征了钽样品抛光前后的表面形貌,分别研究了电解液配比、抛光电压、搅拌速率和电解液温度等因素对抛光效果的影响。抛光后钽表面均方根粗糙度和形貌测试结果表明,硫酸-甲醇体系适用于钽的电解抛光,并初步确定了钽的电解抛光工艺参数,即硫酸与甲醇体积比为1∶7,电解电压为15~20V,温度为-10~0℃,搅拌速率大于8m/s。
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