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介绍了一种基于白光干涉原理的接触式轮廓测量仪，该仪器可用于滚动轴承内外圈滚道及滚动体轮廓形貌的综合测量，其理论分辨率可达纳米级，垂直和水平测量范围可分别达5mm和50mm。重点论述了该轮廓仪测量系统的构成、测量原理，并用实例说明干涉信号数据处理过程及结果的有效性。
基于扫描白光干涉法的接触式轮廓综合测量仪
【摘 要】
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介绍了一种基于白光干涉原理的接触式轮廓测量仪，该仪器可用于滚动轴承内外圈滚道及滚动体轮廓形貌的综合测量，其理论分辨率可达纳米级，垂直和水平测量范围可分别达5mm和50mm。
【机 构】
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华中科技大学机械学院仪器系
【出 处】
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轴承
【发表日期】
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2006年12期
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