数字化白光扫描干涉仪的研究

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyuiyigjghj
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究并设计实现了微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪系统。前者采用Mirau相移干涉形式,用压电陶瓷传感器PZT作移项器,主要用于微形貌测量,精度可达nm量级。后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式,用格兰棱镜对偏振态进行调整控制,用移动参考臂来补偿由于耦合点所造成的光程差,光纤寄生偏振耦合测试仪的空间分辨率达到50mm,测量范围达到1km,探测灵敏度不小于-80dB(耦合模式与主模式的功率比)。
其他文献
介绍了美、俄、法、日等航天大国运载火箭低温加注系统的组成、流程、参数及相关设备。在此基础上分析了它们的特点。
为满足客户对天线罩的技术要求,采取双层复合材料技术途径,以PTFE为基体,以玻璃短纤维和玻璃布为增强剂,前者为外层,后者为内层。双层天线罩制造工艺采用一套模具,整体成型,一次烧结后定
本文提出一个以农民分化为前提假设的分析框架,沿着"农民分化—农村土地功能变化—分化农民土地产权诉求变化—农村土地制度创新"的逻辑线索,揭示农业转移人口市民化背景下农
刀具选择是金属切削加工的重要工艺操作环节,传统刀具选择依赖操作工的经验选择刀片或刀具,加工效率低,加工知识继承困难,所以本文提出采用基于加工特征的刀具选择技术来提升
本文根据国内生产总值、劳动生产要素分配系数、老年人口比重以及养老保险合意替代率等要素构建养老保险适度水平模型,并以此作为判断城乡养老保险水平是否协调的根本依据,进
随着社会各个方面的迅速发展,人们越来越认识到古城镇的价值,不同时代保留下来的古代城镇不断吸引着国内外游客。因为古城镇属于不可再生的历史文化遗产,过度旅游开发与过多
随着遥感技术的不断发展和进步,遥感影像的空间分辨率不断提高,高分辨率影像中的地物清晰可辨、细节丰富,原来用于中低分辨率的遥感影像特征提取与目标检测方法已经无法满足
本文通过对世界经济增长的历史尺度与中国经济发展的现实尺度进行比较分析,认为面对可能出现的"结构性"减速风险,中国经济亟需重构增长的动力机制。应形成以新型城镇化为契机
随着微机械加工技术水平和微电子技术水平的提高,微机电系统得到了长足发展,能源供电装置是微机电系统中重要的组成部分,普通能源供电装置存在尺寸大、能量密度低、寿命短等
新型农村社会养老保险制度肩负着解决农村居民养老后顾之忧、实现老有所养的政策目标,同时还承担着带动农村消费与扩大内需的战略任务。根据2011年截面数据消费模型实证分析