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利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法
利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法
来源 :无机盐工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cheerlucky
【摘 要】
:
本发明是一种利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法,其特征包括如下步骤:1)取一衬底;2)在该衬底上的硅(001)晶面上采用磁控溅射的方法低温生长氧化锌缓冲层;3)在氧化锌缓冲层上,采
【出 处】
:
无机盐工业
【发表日期】
:
2006年12期
【关键词】
:
氧化锌薄膜
低温生长
缓冲层
单晶
硅(001)
MOCVD
磁控溅射
外延薄膜
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本发明是一种利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法,其特征包括如下步骤:1)取一衬底;2)在该衬底上的硅(001)晶面上采用磁控溅射的方法低温生长氧化锌缓冲层;3)在氧化锌缓冲层上,采用MOCVD方法低温生长氧化锌外延薄膜。
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