利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法

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本发明是一种利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法,其特征包括如下步骤:1)取一衬底;2)在该衬底上的硅(001)晶面上采用磁控溅射的方法低温生长氧化锌缓冲层;3)在氧化锌缓冲层上,采用MOCVD方法低温生长氧化锌外延薄膜。
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