论文部分内容阅读
MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性 ,因此 ,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺。本文首先介绍了封装的主要形式 ,然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装[1] 。最后给出了一些商业化的实例
MEMS中的封装技术研究
【摘 要】
：
MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性 ,因此 ,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺。本文首先介绍了封装的主要形式 ,然后着重阐述了晶圆级封装与芯
【机 构】
：
国家教育部仪器科学与动态测试重点实验室,北京大学微电子学研究院所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2003年Z1期
其他文献
研究了华南地区 14次中强地震前中等地震活动特征 ,据此提出了本区中强震短期预测判据 :中期 (或中短期 )中等地震累积频度呈指数 (加速 )增长 ,短期至发震中等地震持续平静 (通常小于 3个月 )。
<正>肺胀系中医病名,相当于西医阻塞性肺气肿和部分肺心病,由多种慢性肺、支气管疾患发展而成,我国北方地区发病率较高,每年冬春季节因本病合并急性感染而就诊者甚多。肺痿也
"免费"大旗下,盛大的成功已经成为经典案例。而如今,深谙此道的史玉柱又再让巨人网络变成网游业界一座IPO"高峰"。面对高度集中的市场,谁是下一个"巨人",又如何才能成为"巨人
旅行社以提供服务为主,越来越多旅游者更加重视服务质量而不是价格,通过比较旅行社实力、信誉做决定。而旅行社品牌的建设可以促使游客的选择。通过分析旅行社业品牌现有的问
网络已经深入到社会的各个领域。网络环境给图书馆带来了种种冲击和挑战。为了在网络环境下求得生存和发展,图书馆就必须从如下5个方面转变服务理念：从保存文化的堡垒到传播文
我国境内几次中强震及山西地区6次有感地震前，临汾地震台两种摆式倾斜仪存在有不同反映，探讨不同摆式倾斜仪对同一地震监测能力的差异性和同一仪器对不同地震的异常反映能力，结
农家书屋工程是中央统一实施的一项文化惠民工程,目前在全国各地已初具规模。建立农家书屋管理长效机制使其可持续发展,是大家共同关注的问题。文章以农家书屋纳入公共图书馆