【摘 要】
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在谐振梁能量收集器中PZT膜材料的制备起着至关重要的作用,复合结构的锆钛酸铅(PZT)厚膜采用溶胶-凝胶方法旋涂在硅基的Au/Cr/SiO2/Si结构衬底的制备方法,主要因为溶胶-凝胶制
【机 构】
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黑龙江大学集成电路重点实验室,韦恩州立大学电子与计算机工程学院
【基金项目】
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Supported by the Program of the Key Laboratory of Electronics Engineering College of Heilongjiang Province(DZZD-20100009), the Project of Heilongjiang Province Science and Technology(GC06A215)
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在谐振梁能量收集器中PZT膜材料的制备起着至关重要的作用,复合结构的锆钛酸铅(PZT)厚膜采用溶胶-凝胶方法旋涂在硅基的Au/Cr/SiO2/Si结构衬底的制备方法,主要因为溶胶-凝胶制备方法简单,成本低适合于集成制作.改进PZT组分和和0-3混合法及复合结构的Au/Cr/SiO2/Si衬底,使制备的PZT厚膜避免了厚度引起的裂痕,膜厚最厚可以达到4μm.同时采用Au/Ti顶层电极有利于PZT的d31工作模式.系列实验给出了厚膜的介电、铁电和压电特性,复合结构压电梁的能量收集可达0.74μW,3.93 D
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