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期刊论文
金刚石薄膜的合成和应用
金刚石薄膜的合成和应用
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jjpabc123
【摘 要】
:
对金刚石薄膜的合成,性质和应用进行了综述,并讨论了这一领域中存在的主要问题及研究趋势。
【作 者】
:
唐璧玉
靳九成
陈宗璋
【机 构】
:
湖南大学化工系,湖南大学化工系,湖南大学化工系
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
1996年04期
【关键词】
:
化学气相沉积
金刚石薄膜
合成
应用
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对金刚石薄膜的合成,性质和应用进行了综述,并讨论了这一领域中存在的主要问题及研究趋势。
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