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通过对电容式微机电系统(MEMS)压力传感器的结构和工作原理的分析,建立了基于随机模型的稳健设计数学模型,并且编写相应的算法程序,对稳健设计模型进行求解.结果表明:稳健设计方法不仅可以保证传感器具有较高的灵敏度,还能保证设计解的稳健性.
电容式MEMS压力传感器的稳健设计研究
【摘 要】
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通过对电容式微机电系统(MEMS)压力传感器的结构和工作原理的分析,建立了基于随机模型的稳健设计数学模型,并且编写相应的算法程序,对稳健设计模型进行求解.结果表明:稳健设计方法不仅可以保证传感器具有较高的灵敏度,还能保证设计解的稳健性.
【机 构】
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北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2021年12期
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