Hydrophobic TixOy-CmHn Nanoparticle Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

来源 :东华大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tedloo

【摘要】

：

The hydrophobic films of TixOy-CmHn deposited from mixture gases of titanium isopropoxide (TTIP) and oxygen by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)

【作者】

：

WANG De-xin XU Jin-zhou LIU We

【机构】

：

CollegeofMaterialScienceandEngineering,CollegeofScience

【出处】

：

东华大学学报：英文版

【发表日期】

：

2012年3期

【关键词】

：

等离子体增强化学气相沉积法纳米颗粒膜疏水性紫外可见分光光度计傅里叶变换红外光谱扫描电子显微镜透射电子显微镜二氧化钛 micro/nano stru

【基金项目】

：

Foundation items： National Natural Science Foundations of China （No. 10835004, No. 10775031 ）, Science and Technology Commission of Shanghai Municipality, China （ No.10XD1400100）

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The hydrophobic films of TixOy-CmHn deposited from mixture gases of titanium isopropoxide (TTIP) and oxygen by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) were investigated. The films were investigated by scanning electron microscope (SEM), transmis

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