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本文简单概述了浸没式ArF的发展历史、特点和面临的科学技术问题，在跟踪报道国内外最新研究进展的同时，介绍前沿光刻技术的研发特点和研究手段，强调协同设计研究的重要地位，并揭示浸没式hrF光刻不是干式ArF光刻的简单移置和延续。
浸没式ArF光刻最新进展
【摘 要】
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本文简单概述了浸没式ArF的发展历史、特点和面临的科学技术问题，在跟踪报道国内外最新研究进展的同时，介绍前沿光刻技术的研发特点和研究手段，强调协同设计研究的重要地位，并揭
【机 构】
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中国科学院的电工研究所北京中关村北二条6号100080
【出 处】
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2006年辐射光源及其材料科技研讨会
【发表日期】
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2006年4期
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