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介绍了一种新型的接触与非接触两用传感器,该传感器的非接触测量方式是基于改进傅科聚焦探测法原理,而接触测量方式则是基于微恒力电感测量原理。该传感器具有较大量程和较高分辨率等特点,可应用于表面轮廓测量系统中。
一种新型传感器在表面轮廓测量中的应用
【摘 要】
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介绍了一种新型的接触与非接触两用传感器,该传感器的非接触测量方式是基于改进傅科聚焦探测法原理,而接触测量方式则是基于微恒力电感测量原理。该传感器具有较大量程和较高分辨率等特点,可应用于表面轮廓测量系统中。
【机 构】
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湖北汽车工业学院
【出 处】
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湖北汽车工业学院学报
【发表日期】
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2006年04期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金项目（2006ABA040）
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