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集成电路的应用十分广泛,随着集成电路向着更小工艺尺寸,更高集成度方向发展,集成电路失效分析扮演着越来越重要的角色。一块芯片上集成的器件可达几千万,要想找到失效器件实属大海捞针,因此进行集成电路失效分析必须具备先进、准确的技术和设备,并由具有专业知识的半导体分析人员开展分析工作。
集成电路失效分析方法与技术探究
【摘 要】
：
集成电路的应用十分广泛,随着集成电路向着更小工艺尺寸,更高集成度方向发展,集成电路失效分析扮演着越来越重要的角色。一块芯片上集成的器件可达几千万,要想找到失效器件实
【机 构】
：
飞思卡尔半导体（中国）有限公司
【出 处】
：
电子世界
【发表日期】
：
2013年19期
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
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