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针对干涉合成孔径声纳对配准精度要求较高而局部配准偏移量相差比较大的问题，提出采用多层B样条曲面插值实现配准偏移量的插值，既保证配准偏移量的插值精度，又能保证拟合曲面的光滑性。采用仿真数据和实际干涉合成孔径声纳数据验证了算法的性能，结果表明，提出的插值算法能有效提高插值精度和图像的相干系数，且能达到实时处理要求。