Deposition and Characterization of Multilayer DLC/BN Films

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：jieean

【摘要】

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In this article, the results obtained from a study on multilayer diamond-like carbon and boron nitride (DLC/BN) films are reported. The microstructure, atomic c

【作者】

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Honei Chin Chavin Jongwannasir

【机构】

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GraduateSchoolofMechanicalSystemsEngineering,RatchaburiLearningPark,DepartmentofInnovativeSystemsEng

【出处】

：

材料科学与应用期刊(英文)

【发表日期】

：

2017年10期

【关键词】

：

DLC/BN MULTILAYER RF SPUTTERING DLC/BN Multilayer RF Sputtering

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In this article, the results obtained from a study on multilayer diamond-like carbon and boron nitride (DLC/BN) films are reported. The microstructure, atomic concentration, hardness and friction coefficient of the films were characterized using transmiss

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