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超精密测量是超精密加工中的重要一环,目前其研究的内容主要涉及光干涉技术、电学测量技术以及扫描探针技术等几个方面,本文主要介绍了几种测量技术的工作原理、设备技术等方面的研究及进展情况.
超精密测量关键技术的研究动态
【摘 要】
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超精密测量是超精密加工中的重要一环,目前其研究的内容主要涉及光干涉技术、电学测量技术以及扫描探针技术等几个方面,本文主要介绍了几种测量技术的工作原理、设备技术等方
【机 构】
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浙江师范大学交通学院
【出 处】
：
新技术新工艺
【发表日期】
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2006年5期
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