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氢与氧及氮钝化对多孔硅光致发光的影响
氢与氧及氮钝化对多孔硅光致发光的影响
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fanjing0
【摘 要】
:
对多孔硅在NH3和O2中进行后处理的结果表明,SiH(O3),SiH(SiO2),SiH2 (O2),Si(NH)2和Si3N4结构的产生是实验中多孔硅稳定性提高的原因.
【作 者】
:
刘小兵
史向华
【机 构】
:
长沙电力学院物理与信息工程系
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
多孔硅
钝化
光致发光
氢
氧
porous silicon passivation photoluminescence
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对多孔硅在NH3和O2中进行后处理的结果表明,SiH(O3),SiH(SiO2),SiH2 (O2),Si(NH)2和Si3N4结构的产生是实验中多孔硅稳定性提高的原因.
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