氢与氧及氮钝化对多孔硅光致发光的影响

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对多孔硅在NH3和O2中进行后处理的结果表明,SiH(O3),SiH(SiO2),SiH2 (O2),Si(NH)2和Si3N4结构的产生是实验中多孔硅稳定性提高的原因.
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