【摘 要】
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为研究膜层交替周期对多层膜表面硬度与耐磨性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源（MEVVA）和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355钢材表面制备膜层交替周期分别为5、13和
【机 构】
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北京机械工业自动化研究所,中国航发北京航空材料研究院
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为研究膜层交替周期对多层膜表面硬度与耐磨性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源（MEVVA）和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355钢材表面制备膜层交替周期分别为5、13和26的3组CrNx/TiyCr1-yN膜层,利用场发射扫描电子显微镜（FESEM）和X射线衍射仪（XRD）对膜层形貌和相结构进行了分析,利用划痕仪、显微硬度计等对膜层硬度与结合力进行了测试。结果表明：采用该技术制备的CrNx/TiyCr1-yN多层膜结构致密,与基体结合良好;随着多层膜交替周期的增加,膜层硬度有所降低,膜层结合力则
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