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压电陶瓷驱动电源是微动工作平台中的关键部件。本文采用多级驱动的电源结构,利用仿真建立原型电路的方式进行设计,有效地提高了设计效率,并在此基础上进行了实际系统地设计。该电源由多级数控可调直流电压源串联构成,采用LM317作为稳压核心元件,配合温度系数很小的精密基准电压源TL431,有效地提高了电源的稳定性、分辨率以及响应速度。