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Checkpoint由Horst Groneberg和Guoqing Xiao创建于1995年，它是为许多测试设备的生产者提供OEM激光扫描仪。结果表明：LSM是目前Checkpoint所销售的工具中最基本的。在世界上FA实验室中，我们的LSM工具中最常见的。1999年，Checkpoint开始销售半导体失效分析市场中用到的激光扫描系统，运用我们的LSM技术，设计和建立了一套用于失效分析市场的全方位的系统。这些工具都已经被检测过，具有很高的性价比。