【摘 要】
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在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,国家上海同步辐射中心(筹),中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射
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在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965—92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要。
In the same conditions using the same set of test equipment, in accordance with the requirements of the national machinery industry standard JB / T2965-92, several major domestic sputter ion pump manufacturers provide commercial sputtering ion pump for performance testing, listing and analysis Test results, so that everyone is aware of the current status of domestic sputtering ion pump, and look forward to the domestic vacuum pump plant can advance with the times, to further improve and enhance the sputtering ion pump performance to meet the needs of domestic science and technology development.
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