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本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.
高速微转子在MEMS情况下的几个问题
【摘 要】
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本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系
【机 构】
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上海交通大学
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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2004年z3期
【基金项目】
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国家自然科学基金杰出青年基金资助(10325209)
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