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硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的主要方法、刻蚀机理、工艺特征及应用等的研究进展,重点介绍了贵金属辅助化学刻蚀技术的最新研究成果.
化学刻蚀硅制备太阳能电池减反射结构的研究进展
【摘 要】
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硅基太阳能电池的关键技术之一是在硅表面制备高效减反射结构,化学刻蚀法是制备减反射结构的最常用方法,其研究热点为贵金属辅助化学刻蚀技术,综述了化学刻蚀硅制备太阳能电
【机 构】
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沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室
【出 处】
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沈阳大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51171118);沈阳市科技基金资助项目(F10-205-1-60)
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