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研究了阳极氧化法制备多孔硅的工艺，表面形貌及电化学成膜机制。
发光多孔硅的制备及其电化学成膜机制研究
【摘 要】
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研究了阳极氧化法制备多孔硅的工艺，表面形貌及电化学成膜机制。
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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1996年6期
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