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采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额
采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额
来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windcode2009
【摘 要】
:
使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度,原子间作用势用Moliere势.并将计算结果与实验数据和山村等的
【作 者】
:
李之杰
王泽辉
川村孝一
山村泰道
【机 构】
:
内蒙古民族大学理工学院物理系,冈山理科大学
【出 处】
:
计算物理
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
MONTECARLO模拟
溅射产额
壳层效应
屏蔽长度
原子间作势
数值计算
Monte Carlo simulation sputtering yieldsc
【基金项目】
:
国家留学回国人员科研启动基金
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使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度,原子间作用势用Moliere势.并将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较.
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