采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额

来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windcode2009
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使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额.采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度,原子间作用势用Moliere势.并将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较.
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