在聚酰亚胺衬底上低温制备超薄热敏铂膜的研究

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通过在聚合物衬底上制备热敏薄膜可以实现非平、屈曲物体表面温度的实时监控和测量。利用脉冲激光沉积技术在聚酰亚胺衬底上低温(250℃左右)制备了超薄铂热敏薄膜,其室温下的电阻温度系数为1.01×10-3/K。通过增加ZnO过渡层,可使铂薄膜的电阻温度系数增大为1.55×10-3/K。
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