【摘 要】
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采用双晶X射线衍射仪测量了相同注入能量、不同注入剂量的As^+／N2^+组合离子注入Si的衍射曲线，借助X射线衍射的运动学理论和离子注入的多层模型，对衍射曲线进行拟合，得到了晶格应
【机 构】
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辽宁大学物理系原子与辐射研究所,沈阳大学物理系
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采用双晶X射线衍射仪测量了相同注入能量、不同注入剂量的As^+／N2^+组合离子注入Si的衍射曲线，借助X射线衍射的运动学理论和离子注入的多层模型，对衍射曲线进行拟合，得到了晶格应变随注入深度的分布及辐射损伤分布。在500～900℃下进行等时热退火，对辐射损伤经退火的晶格恢复进行了研究。用LSS理论计算了同样注入条件下的杂质浓度分布，并对二者进行了比较分析。
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