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p型Ge单晶VGF生长位错抑制研究

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxypost

【作 者】

：

周春锋  兰天平  周传新 

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2016年02期

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