【摘 要】
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<正> TH703 2004053968 反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望=Review and prospect on reflection mode micro-opto-electromechanical system[刊,中]/尤政(清华大学
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<正> TH703 2004053968 反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望=Review and prospect on reflection mode micro-opto-electromechanical system[刊,中]/尤政(清华大学精密仪器及机械学系,北京(100084)),王子旸…∥光学技术,—2004,
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