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采用射频溅射法制备了纳米'铁磁金属-半导体基体'Fe-In2O3颗粒膜,研究了颗粒膜中纳米Fe颗粒的晶格结构和尺度效应.结果表明:Fe-In2O3颗粒膜中纳米Fe颗粒晶格发生畸变,原子间距随颗粒尺寸的减小而增大;纳米Fe颗粒的比饱和磁化强度Ms和Curie温度TC随颗粒尺寸减小而降低.探讨分析了Fe-In2O3颗粒膜中纳米Fe颗粒的MS和TC随颗粒尺寸变化的原因.