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在相移式轮廓测量(PMP)技术中,提出了一种基于查表法的相移校正算法,使传统的N步计算方法要以适用于任何相移值(非等步相移)的情况,从而降低了对相移器的精度要求.利用计算机仿真技术验证了该修正算法的正确性.
基于查表法的非等步相移误差修正算法研究
【摘 要】
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在相移式轮廓测量(PMP)技术中,提出了一种基于查表法的相移校正算法,使传统的N步计算方法要以适用于任何相移值(非等步相移)的情况,从而降低了对相移器的精度要求.利用计算机
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2003年1期
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