【摘 要】
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提出一种改进的金属辅助化学蚀刻技术(metal-assisted electroless etching, MAEE)来制备硅基微纳米(silicon micropillar/nanowire, MP/NW)复合结构,技术结合了传统MAEE及旋
【机 构】
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上海第二工业大学环境与材料工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金重大项目(51590902),上海第二工业大学研究生项目基金(EGD19YJ0076)资助
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提出一种改进的金属辅助化学蚀刻技术(metal-assisted electroless etching, MAEE)来制备硅基微纳米(silicon micropillar/nanowire, MP/NW)复合结构,技术结合了传统MAEE及旋涂法,实验腐蚀液由KMnO4/AgNO3/HF组成,探究了腐蚀温度、旋涂速度及腐蚀时间对复合结构的表面形貌特征的影响,并分析了制备条件对反射率与吸收率的影响规律。结果表明,腐蚀温度改变时,复合结构的高度差、MP的直径和NW的长度都随着温度的增加而减少,而反射率随之增
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