增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT栅退火工艺

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：quangang770

【摘要】

：

针对InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件,进行了Ti/Pt/Au和Pt/Ti/Pt/Au两种栅金属结构的退火实验,通过实验研究比较,得到了更适用于增强型器件的退火工艺,利用Ti/Pt/Au结构,在320

【作者】

：

黎明张海英徐静波李潇刘亮付晓君

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2008年8期

【关键词】

：

增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT 退火阈值电压环形振荡器 enhancement-mode InGaP/A1GaAs/InGaAs

【基金项目】

：

国家自然科学基金（批准号：60276021）和国家重点基础研究发展规划（批准号：2002CB311901）资助项目

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

针对InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件,进行了Ti/Pt/Au和Pt/Ti/Pt/Au两种栅金属结构的退火实验,通过实验研究比较,得到了更适用于增强型器件的退火工艺,利用Ti/Pt/Au结构,在320℃退火40min,使器件阈值电压正向移动大约200mV,从而成功制作了高成品率的稳定一致的增强型器件,保证了增强型器件阈值电压在零以上.

其他文献

《逃离》的前景化理论分析

前景化理论是文体学的重要理论之一, 指文学作品中对语言常规的有意偏离.偏离是实现前景化的主要方式之一.前景化理论对文学作品的欣赏研究有重要的价值和意义.艾丽丝·

期刊

前景化理论偏离《逃离》

论陈映真乡土小说的平民生存关怀

陈映真的乡土小说创作以平民为关注焦点，对芸芸众生的生存状况和境遇以深切的关注与思考。作家在小说文本中繁复地叙说着平民身心的苦难，鲁迅式地揭批现代企业下“人”的异化现

期刊

陈映真乡土小说思想内蕴苦难意象异化Chen Ying-zhen country novel ideological implication miser

“中国人类学的第二个春天”——“蔡华教授荣获法语国家大奖庆祝会”纪要

欧美--中国,学术对话.欧美:"当代人类学之父"、法国科学院院士克劳德@列维-斯特劳斯(Claude Levi Strauss)在蔡华专著<无父无夫的社会--中国的纳人>英文版封二上写道:"蔡华博

期刊

蔡华教授中国人类学亲属制度研究家庭建构原理

语域对语篇写作策略的影响

语域理论不仅是语言学研究本身的重要方法，而且具有广泛的应用潜力。把语域理论应用到英语写作策略分析，结果表明：语域的三个变体对语篇写作策略具有重大影响。

期刊

语域理论语域变体写作策略

华灯初上国家电网北京城市照明管理中心华灯班之歌

<正>中国能源化学地质工会主席张波,中国能源化学地质工会兼职副主席、国家一级作家周洪成,北京城市照明管理中心党委书记李之彧,同著名作曲家邓志强受国家电网之邀,为华灯班

期刊

城市照明管理国家电网

儿童文学对小学语文教育的作用

小学语文教育在教授学生基本语言知识的同时,传授学生认识事物的方法,帮助学生树立正确人生观,提高学生思想品德素质也是教学的重要内容。儿童文学作为一种以儿童为对象的文

会议

小学语文教育儿童文学意义作用

增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT栅退火工艺

其他学术论文