四氟化硅的纯化方法

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本发明是关于制取适用于电子材料、太阳能电池元件等非晶硅半导体的高纯四氟化奎,是将含有SiOF2、(SiF3)2O、(SiF2)2SiF2O2等含氧氟化砖及SO2、SO2、H2S等硫化物的四氟化硅进行纯化。
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