【摘 要】
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研究了重掺杂n-型单晶硅（CSi）在氢氟酸体系中生成多孔硅（PSi）的电化学行为,根据线性极化曲线,选取不同的电流密度,采用恒电流阳极极化法,制备了一系列多孔硅层。利用扫描电子显微
【机 构】
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北京理工大学珠海学院化工与材料学院,厦门大学材料学院材料科学与工程系,福建省特种先进材料重点实验室
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研究了重掺杂n-型单晶硅（CSi）在氢氟酸体系中生成多孔硅（PSi）的电化学行为,根据线性极化曲线,选取不同的电流密度,采用恒电流阳极极化法,制备了一系列多孔硅层。利用扫描电子显微镜对其进行了表面和断面形貌的表征,通过线性扫描极化技术和计时电位法,比较了单晶硅电极和多孔硅电极的电化学行为,分析了多孔硅形成前后的塔菲尔曲线和计时电位曲线,给出了多孔硅形成过程中的重要电化学参数,如腐蚀电流、开路电位、塔菲尔斜率等。并对其进行深入分析,根据实验结果,提出了单晶硅电极/电解质界面和多孔硅电极/电解质界面的结构模型
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