论文部分内容阅读
综合评述了300mm硅片在晶体生长、杂质行为、缺陷控制、表面质量等方面的研究现状和硅基材料的开发进展情况,指出应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合是今后发展的一个趋势,而纳米集成电路用硅及硅基材料将是微电子产业蓬勃发展的基础和希望所在.
纳米集成电路用硅及硅基材料的研究进展
【摘 要】
：
综合评述了300mm硅片在晶体生长、杂质行为、缺陷控制、表面质量等方面的研究现状和硅基材料的开发进展情况,指出应变硅与绝缘体上硅(SOI)相结合是今后发展的一个趋势,而纳米集成电路用硅及硅基材料将是微电子产业蓬勃发展的基础和希望所在.
【机 构】
：
北京有色金属研究总院(北京)
【出 处】
：
中国有色金属学会第5届学术年会
【发表日期】
：
2003年11期
其他文献
目的观察研究通脉降脂丸对高血压病患者颈动脉粥样硬化斑块以及斑块性质的影响。方法选择132例经颈部血管彩色多普勒超声检查,明确有颈动脉粥样硬化斑块形成的高血压病患者,
卢仁彬主任医师从医30余年,治学严谨,学验兼丰。老师善于运用黄连温胆汤化裁辨治失眠、眩晕、郁证、中风等病,现将老师应用黄连温胆汤的经验整理如下,以飨读者。黄连温胆汤出
随着我国教育事业的不断改革,我国高校的教学质量不断提高,教学内容和教学方式也不断丰富,独立学院开始出现并且获得巨大发展,独立学院的存在促进了我国教育事业的发展和进步
目的观察药物结合手法治疗月经不调的疗效。方法在一般治疗的基础上,采用手法配合丹栀逍遥散加减方治疗。结果 49例患者经用上法治疗一疗程后,疗效显著,有效率91.8%。结论此
闭经本身不是独立疾病,是由多种原因造成的月经疾患的一个症状。临床上分为原发性闭经和继发性闭经两型。原发性闭经是指女子年逾16周岁第二性征已发育,尚无月经来潮;或年逾1
目的：观察安胎定呕方配合穴位注射治疗妊娠剧吐的临床疗效。方法选择2010年以来我院中西医结合妇科门诊病人和住院病人随机分为治疗组100例，对照组100例；治疗组采用安胎定呕方配
千米深井工作面注浆因地筒深度大，水压高，井内场地狭小，无论在技术，设备，以及施工作业条件上，都具有相当的难度，本文介绍了在冬瓜山主井突水淹井治理过程中，深井自溜高压注浆系统在井
提高学生的实践技能是高职高专院校人才培养的关键.作者通过确立人才培养目标、完善实践教学条件、建设双师队伍、推进校企合作、建立实习基地等一系列措施,实现了高职高专中
通过分析覆岩下放矿时矿岩颗粒在运动场中的移动分布规律以及低贫化放矿时放出矿石与矿石块矿率的关系，提出了提高放出矿石块矿率的可行途径。