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提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法.它利用麦克尔逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后,便可求得球面曲率半径.测量过程中无测量力的影响,也不会损坏被测件表面,而且测量时对被测件安装定位无特殊要求,误差环节少,具有实用意义.
利用迈克尔逊干涉仪测量光学球面的曲率半径
【摘 要】
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提出了一种光学球面曲率半径的无损测量方法.它利用麦克尔逊干涉仪的白光干涉零级暗条纹测出平面与被测球面相交的圆直径及相应的矢高值后,便可求得球面曲率半径.测量过程中
【机 构】
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西安工业学院光电科学与工程系
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2002年1期
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