大通径全金属超高真空阀的应用分析和研制

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本文通过典型的真空应用设备的发展情况分析,描述了大通径全金属超高真空阀的使用条件和需求,以及现今的科研情况。同时对大通径的全金属超高真空阀门的开发工作作了初步总结。 Based on the analysis of the development of a typical vacuum application equipment, this article describes the conditions and requirements of the use of large-diameter all-metal ultra-high vacuum valves, as well as the current scientific research. At the same time on the large diameter metal ultra-high vacuum valve development made a preliminary summary.
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