论文部分内容阅读
建立单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的三次超静定简化力学模型，给出该模型中谐振频率、弹性系数和横向最大位移的计算公式。与五次超静定系统的双侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的各力学性能参数的计算公式对比发现它们有显著差别。分析表明，与双侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器显著不同，单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器的谐振频率、弹性系数、横向最大位移会随两根支撑梁的间距变化而改变，并当此间距超过某一值后，上述三变量的变化均很小且趋向于一定值。同样，后者的谐振频率会随支撑梁厚度的变化而单调改变，这也是前者所没有的现象。为