MEMS硅基环形波动陀螺抗高过载能力测试

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ruru0077

【摘要】

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针对MEMS硅基陀螺在制导炮弹等高过载环境中的应用,以一种S形弹性梁支撑形式的陀螺结构为研究对象,建立了陀螺结构的冲击动力学方程。利用ANSYS对陀螺结构进行瞬态仿真,仿真

【作者】

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刘玉曹慧亮张英杰石云波赵锐李涛

【机构】

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中北大学,山西省军区数据信息室

【出处】

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仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2021年2期

【关键词】

：

MEMS陀螺仪抗高过载冲击模型应力分析拉曼光谱测试 MEMS gyroscope high overload impact model stress

【基金项目】

：

航空科学基金项目(2019080U0002),国家自然科学基金项目(51705477),山西省留学回国人员科技活动择优资助重点项目(2018-008),山西省高等学校青年学术带头人项目,装备预研兵器装备联合基金项目(6141B021304),山西省应用基础研究项目(201801D221195),山西省重点研发计划项目(201903D111005)

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针对MEMS硅基陀螺在制导炮弹等高过载环境中的应用,以一种S形弹性梁支撑形式的陀螺结构为研究对象,建立了陀螺结构的冲击动力学方程。利用ANSYS对陀螺结构进行瞬态仿真,仿真结果显示该结构在X、Z方向承受的最大应力分别为232.10 MPa、219.04 MPa,远小于硅材料的极限许用应力(790 MPa)。实验室环境下利用马歇特锤对陀螺结构样品进行高过载试验,冲击幅值为13600 g。试验前后通过共聚焦显微镜观察陀螺结构表面形貌,结构完好无损;使用拉曼散射光谱系统对非真空封装的陀螺结构进行应力分析,测试点

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