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本文考察了Ａｌ量对多弧离子镀（ＴｉｘＡｌＹ）Ｎ膜层的硬度、孔隙率、耐磨性，摩擦系数，结合力等因素的影响。并利用扫描电镜，电子探针，Ｘ射线 及俄歇电子谱仪对膜进行了分析，并对磨损机理作了初步探讨。
多弧离子镀（TixAlY）N系超硬薄膜中Al的作用
【摘 要】
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本文考察了Ａｌ量对多弧离子镀（ＴｉｘＡｌＹ）Ｎ膜层的硬度、孔隙率、耐磨性，摩擦系数，结合力等因素的影响。并利用扫描电镜，电子探针，Ｘ射线 及俄歇电子谱仪对膜进行了分析，并对磨损机理作了初步探讨。
【机 构】
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江西省科学院应用物理研究所
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1997年2期
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