【摘 要】
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自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支
【机 构】
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清华大学精仪系,清华大学精仪系,清华大学精仪系
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自吸式气体支承由于真空的吸附作用,使其具有双向刚度,可以提高精密工作台的结构工艺性能。在大规模集成电路专用设备MM250C中得到了成功的应用。作者在文献中曾研究了这类支承的静态特性,本文的目的在于导出支承动特性的分析方法,从而为气体静压支承的设计提供依据。
Self-priming gas support due to the vacuum adsorption, it has a two-way stiffness, can improve the precision workbench structure and process performance. In large-scale integrated circuit dedicated equipment MM250C has been successfully applied. The author has studied the static characteristics of this kind of support in the literature. The purpose of this paper is to derive the analysis method of the dynamic characteristics of the support and provide the basis for the design of the hydrostatic support.
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