论文部分内容阅读
如何将集成电路运行过程所需的特种气体纯化、再生,成为了时下阻碍我国集成电路行业发展的难题,基于此,为解决集成电路行业中特种气体纯化、再生问题,设计开发出了 9N 系列气体纯化装置,对其基本构造、工作原理和技术创新进行了分析,并总结了优势和具体应用效果。
面向集成电路行业的特种气体纯化再生系统的开发与应用
【摘 要】
：
如何将集成电路运行过程所需的特种气体纯化、再生,成为了时下阻碍我国集成电路行业发展的难题,基于此,为解决集成电路行业中特种气体纯化、再生问题,设计开发出了 9N 系列气
【机 构】
：
上海电机学院、材料学院,先普半导体技术（上海）有限公司
【出 处】
：
当代旅游:下旬刊
【发表日期】
：
2019年7期
其他文献
大数据凭借其规模大、种类众多、价值巨大但密度低以及生成速度快的特点,在信息化时代里发展迅猛。大数据正在以惊人的速度改变着社会的生产方式,改变着我们每个人的生活,同
在我国飞速发展的现状之下,城市化的进程也在不断加快,各种房建工程层出不穷,也给环境带来了更多更大的压力。伴随着可持续发展理念的提出,环境保护被提上日程,越来越得到人
当前经济发展进入中高速增长的新常态,各地纷纷谋求经济结构转型、实现创新驱动发展。上海周边毗邻地区作为区域一体化发展的直接参与者和受益者,面对国家战略的指引、自身发
邓小平同志南巡重要谈话指出: “革命是解放生产力,改革也是解放生产力”。这一论断是涉及马克思主义理论的一个重大问题,是对历史唯物主义关于社会发展动力原理的一个突破性
论中古时期民族文化的大交流──我国少数民族古代审美文化研究彭书麟公元３世纪至１３世纪，在中国历史上，经历了魏晋南北朝、隋唐五代以至宋、辽、金各个朝代的更替。我国各民族在一
普通物理教学内容应予改革赵素琴，林鹏程普通物理课是理工科学生的一门重要基础课。对提高学生的基础理论水平、思维方法和动手能力具有重大的意义。通过普物的教学，使学生对其
英语中的文化价值观浅析巨积兰任何一种语言都是人们在长期的社会交往中约定俗成的。而文化，是人类所创造的物质产品与精神产品的总和，它包含了人类群体所拥有的价值观念、行为
鱼腥草注射液是从中药鱼腥草中提取其挥发性有效成分癸酰乙醛、月桂醛等精制而成的中药注射用药,现代药理研究证明其有抗菌消炎、抗病毒、增强机体免疫功能等作用,临床常用于
目的：制备稳定的、易再分散的葫芦素聚乳酸毫微粒(Cu-PLA-NP)冻干针剂。方法：选用适宜填充剂制备Cu-PLA-NP冻干针剂，并评价其相关理化性质。结果：冻干前后毫微粒形态、粒径、pH、
随着生产技术的提升,大多轧钢厂都引进了板坯调宽设备——定宽机,该设备的投入大幅提高了粗轧工序的板坯调宽能力和尺寸精度,提高了上游工序连铸坯的产量。本文以定宽机的在