【摘 要】
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随着电子行业、电力系统和制造业的快速发展，SF6气体需求和产量与日俱增，在生产、运输、使用和检测时产生的泄漏和排放的总量也越来越大，其温室效应越来越明显。对SF6气体浓度进
【机 构】
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随着电子行业、电力系统和制造业的快速发展，SF6气体需求和产量与日俱增，在生产、运输、使用和检测时产生的泄漏和排放的总量也越来越大，其温室效应越来越明显。对SF6气体浓度进行精确地检测是控制其排放的先决条件。由于SF6气体的化学特性稳定，难以用常规的检测方法对低浓度的SF6进行检测，急需一种能快速、高灵敏度的检测方法。通过采用激光光源，利用扩束镜对激光束进行扩束，使光束发生多次反射，大大增加了被测气体与激光的接触和吸收，提升了检测的灵敏度。
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