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正弦调制薄膜的表征及测量误差分析
正弦调制薄膜的表征及测量误差分析
来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:iours
【摘 要】
:
本文介绍调制薄膜的表征及测量误差分析,主要包括调制薄膜表面形貌的观测、振幅与波长的精确测量及测量误差分析两个部分。实验结果表明,利用本文所述方法可满足对调制膜的精
【作 者】
:
叶成钢
马小军
高党忠
贾鹏
【机 构】
:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
:
计量与测试技术
【发表日期】
:
2009年11期
【关键词】
:
调制薄膜
薄膜的表征
测量精度
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本文介绍调制薄膜的表征及测量误差分析,主要包括调制薄膜表面形貌的观测、振幅与波长的精确测量及测量误差分析两个部分。实验结果表明,利用本文所述方法可满足对调制膜的精确测量。
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