论文部分内容阅读
介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及具体的加工过程进行了研究.提出了一种采用准分子激光刻蚀技术加工制备球面调制靶的具体工艺方案.
准分子激光加工球面调制靶工艺研究
【摘 要】
：
介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及
【机 构】
：
华中科技大学机械电子信息工程系
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2004年1期
【基金项目】
：
国防科技重点实验室基金
其他文献
现代教学观察和研究证明,中长跑具有预防、治疗某些慢性疾病和增强体质、延年益寿的作用。但中专学生在练习的时候,往往使学生感到枯燥无味,甚至产生恐惧心理。如何培养学生
为了避免煤矿机电设备在使用过程中因振动出现设备故障停机、安全性能降低等现象,保证机电设备的安全高效运行,通过技术研究设计了一套机电设备振动在线监测装置.对这一振动