【摘 要】
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采用溶胶-凝胶（sol-gel）法制备掺钛SnO2薄膜，通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数（5％，10％，15％）的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光
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采用溶胶-凝胶（sol-gel）法制备掺钛SnO2薄膜，通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数（5％，10％，15％）的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明：掺钛SnO2薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应，并且薄膜的灵敏度与掺杂量有关；质量分数为5％钛掺杂SnO2薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在1300-2500nm波长范围保持在13％左右，而质量分数为15％钛掺杂SnO2薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在1700—2300nm范围内保持在7％左
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