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真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护。从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各类故障,给出了处理方法和步骤。
蒸发台e型电子枪的工作原理与维修技术
【摘 要】
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真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护。从维修的角度
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年1期
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