【摘 要】
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<正> 引言在研究溅射离子泵放电特性时,必须得到放电电流I的数据,当溅射离子泵启动时放电电流I随时间迅速变化过程仅发生在十几秒钟内,由于以前测试手段的限制,这种迅速变化
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<正> 引言在研究溅射离子泵放电特性时,必须得到放电电流I的数据,当溅射离子泵启动时放电电流I随时间迅速变化过程仅发生在十几秒钟内,由于以前测试手段的限制,这种迅速变化过程多用人眼观察、记录,误差很大。因为在读数过程中,反映放电电流I的电表指针还在不断偏转,为了做到真正的定量测量,有必要用仪器自动读取数据。这是本文所要探讨的问题。溅射离子泵工作时,要求一专用高压电源向离子泵供电,使在泵的电极间加上5～7kV的直流高压,启动时即有电流流过回路。如果在放电回路中适当位置串入一取样电阻,利用电流流过
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